我院光学轮廓仪参加2018年纳米沟槽比对

      2018-12-18

       依据测试大纲要求,利用我院的光学轮廓仪完成对深宽比系列变化的沟槽样品的数据测量,并为中国计量院提供有关参数,保证数据支持,以此来比较验证LEL准则和W/3准则在确定有效高度示值读取区域方面的适用性差异。