最新公告：
单位
高真空电子束及热阻蒸发薄膜沉积系统
仪器名称：高真空电子束及热阻蒸发薄膜沉积系统
规格型号：DZS-500
分 类：半导体集成电路工艺实验设备
应用领域：材料科学
所属单位：石家庄铁道大学
产 地：中国
厂 商：百举捷
价 值：65.89万
购置日期：2023-04-14
使用状态：
共享模式： 外部共享
资源信息
主要技术指标
1、极限真空度：≤8x10-5 Pa (经烘烤除气后)； 2、系统真空检漏漏率：≤8.0×10-7 Pa.l/S； 3、系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气，45分钟到8×10-3Pa； 4、真空室尺寸不小于500mm×500mm×600mm；5、基片与源之间距离150～350mm可调；
主要功能/应用范围
用于制备陶瓷、氧化物、ITO、金属薄膜等，广泛应用于物理、生物、化学、材料、电子等领域，可沉积单层膜/多层膜。尤其广泛应用于制备光学薄膜，其产品应用如：眼镜、相机、荧幕、投影仪、显微镜、望远镜、光纤通讯、镭射、干涉仪等。
服务内容
高真空蒸发镀膜
服务的典型成果
无
对外开放共享规定
无
参考收费标准
300元/件
联系信息
| 仪器联系人： | 秦国强 | 联系电话： | 15831158074 |
| 电子邮箱： | qgq@stdu.edu.cn | 传 真： |
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