最新公告：
单位
多功能高真空镀膜机
仪器名称：多功能高真空镀膜机
规格型号：BMS560B
分 类：其他
应用领域：计算机科学技术
所属单位：燕山大学
产 地：中国
厂 商：沈阳科友真空技术有限公司
价 值：32万
购置日期：2013-11-18
使用状态：
共享模式： 外部共享
资源信息
主要技术指标
基片尺寸：φ70mm；抽气50分钟可达5.0X10-4 Pa；基片镀膜均匀性≤±5%；样品台3-30转/分范围连续可调；3支φ3英寸磁控靶
主要功能/应用范围
配有多套磁控靶，配有电动挡板，靶角度可沿轴线调节，可实现共溅射。蒸发源多组，电极水冷，蒸发源之间隔断，且均有独立电动挡板，镀膜均匀性良好。
服务内容
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服务的典型成果
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对外开放共享规定
对外开放预约
参考收费标准
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联系信息
| 仪器联系人： | 刘雪强 | 联系电话： | 15076049338 |
| 电子邮箱： | * | 传 真： |
评价信息