最新公告：
单位
电子束蒸发系统
仪器名称：电子束蒸发系统
规格型号：DZS500
分 类：其他
应用领域：电子与通信技术
所属单位：燕山大学
产 地：中国
厂 商：中国科学院沈阳科学仪器有限公司
价 值：63.3万
购置日期：2023-06-21
使用状态：
共享模式： 外部共享
资源信息
主要技术指标
极限真空度：≤0.06mPa；电子枪功率：4KW-6KW；水冷式坩埚6穴，11ml。电阻蒸发组件2套，1.2KW。
主要功能/应用范围
采用电子束热蒸发、电阻热蒸发制备各种纳米功能薄膜、器件
服务内容
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服务的典型成果
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对外开放共享规定
对外开放预约
参考收费标准
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联系信息
| 仪器联系人： | 孙鑫 | 联系电话： | 13633355341 |
| 电子邮箱： | * | 传 真： |
评价信息