主要技术指标

"测量固体零件几何尺寸： 测量距离0-80n； 线性测量分辨率0.1nm； 角度测量分辨率0.01秒； 平面度测量分辨率0.1μm； 动态采样频率50kHz"

主要功能/应用范围

对产品位置精度进行测量、评定及螺距误差补偿。

服务内容

对产品位置精度进行测量、评定及螺距误差补偿。

服务的典型成果

无

对外开放共享规定

1. 设备要求：对外开放的设备应具备良好的运行状态，符合国家安全、环保及行业标准，能够满足科研、生产或公共服务的需求。 2. 管理规范：设备所在单位应建立完善的设备管理制度，包括操作规程、维护保养、安全责任等，确保设备在开放过程中得到有效管理。 3. 技术支持：提供必要的技术指导与培训，确保使用者能够安全、正确地操作设备。

参考收费标准

每小时200元