主要技术指标

高度测量:测量范围0-7mm,显示分辨率0.001μm,反复精度σ 0.012μm※2。宽度测量：显示分辨率0.001μm，反复精度3σ 0.02μm※4。

主要功能/应用范围

采用激光作为光源，由激光器发射一定波长激发光，经放大后通过扫描器内的照明针孔光栏形成点光源，成像于计算机上，计算机对所观察的对象进行数字图象处理。 （1）观察分析硅片表面、电池栅线、硅片腐蚀后缺陷等物品外观；（2）克服光学显微镜景深浅；（3）对样品大小的局限性限制小；（4）非接触式、无损伤的进行断层扫描和成像；测量栅线高宽比，检测硅片形貌。

服务内容

采用激光作为光源，由激光器发射一定波长激发光，经放大后通过扫描器内的照明针孔光栏形成点光源，成像于计算机上，计算机对所观察的对象进行数字图象处理。 （1）观察分析硅片表面、电池栅线、硅片腐蚀后缺陷等物品外观；（2）克服光学显微镜景深浅；（3）对样品大小的局限性限制小；（4）非接触式、无损伤的进行断层扫描和成像；测量栅线高宽比，检测硅片形貌。

服务的典型成果

暂无

对外开放共享规定

对外开放共享收取一定费用

参考收费标准

每项21.82元。