主要技术指标

1、装置型号: JSM-6360LA，带低真空功能 2、EDS 装配JED(JED2300) 3、高真空模式分辨率: 3.0nm@30KV WD=8mm 4、低真空模式分辨率: 4.0nm@30KV WD=5mm 5、放大率: x5至x300000 6、低真空度: 1to270Pa，高、低真空切换 7、加速电压: 0.5kV至30kV，束流1pA—1uA。 8、试样台 中心式,x:80mm,y:40,z:43mm,倾斜-10～+90度,旋转360度,最大试样尺寸:152mm,试样容许:48mm。 9、PC/OS功能: IBMPC/AT互换型机、Windows2000XP,用户登录,菜单,自动聚焦,自动非点补正,自动亮度对比,自动枪。 10、排气方式: 高真空+低真空排气方式。 11、真空系统: 马达驱动台能谱分析接口稳压电源循环水箱。 12、分辨率脉冲处理器:只有分析时注入氮气,高性能x射线数字处理器。

主要功能/应用范围

利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态，是观察分析样品微观结构方便、易行的有效方法；同时扫描电子显微镜可以实现试样从低倍到高倍的定位分析，在样品室中的试样可以移动利于使用者对感兴趣的部位进行连续、系统的观察分析；扫描电子显微镜拍出的图像真实、清晰，并富有立体感，具备纳米级显微组织形貌的观察并微观成像，同时结合配套能谱仪具备微区成分元素的定性定量分析。

服务内容

微观表面观察

服务的典型成果

无

对外开放共享规定

全年开放，电话约定

参考收费标准

面议