主要技术指标

X工作台移动速度：传输速度输入范围:0.1至300毫米/秒，返回速度300毫米/秒，z轴镜头高度调节范围（激光焦点）：-1.000to5.000mm，step：0.0001mm，旋转最低角度0.4‘’（angel）

主要功能/应用范围

用于切割芯片

服务内容

自设备启用之日起，便对外开放

服务的典型成果

无

对外开放共享规定

凡需要使用仪器的企业和个人，请提前预约，并填写测试委托单。测试（加工、试验等）完成后，用户和负责仪器设备共享的管理人签字确认后，去财务缴费，持收据领取结果。

参考收费标准

面议