主要技术指标

真空度3×10-6Pa

主要功能/应用范围

功能薄膜是一类在电、磁、光、热等方面有特殊性质的薄膜材料，常用于制造各种装备中具有独特功能的核心部件。高真空磁控溅射薄膜沉积系统可制备超导、磁性、半导体等功能薄膜。高质量的超导薄膜在量子计算机中具有重要应用价值。量子计算机在天气预报、制药研制、保密通讯及破译方面均有巨大应用。磁性薄膜材料广泛应用于机器人系统，制造计算机存储器，光通信中的磁光调制器、光隔离器和光环行器等；也用作磁记录薄膜介质和薄膜磁头，以及磁光记录盘等。半导体薄膜可用于制造晶体管、太阳能电池、金属-半导体-金属光电探测器和量子阱激光器等。

服务内容

制备薄膜

服务的典型成果

制备金属膜，化合物等

对外开放共享规定

样品制备设备对外服务周期较长

参考收费标准

每小时100元