ADE平整度测试仪
仪器名称:ADE平整度测试仪
英文名称:
规格型号:ADE9600
分 类:半导体集成电路工艺实验设备
应用领域:电子与通信技术
所属单位:河北普兴电子科技股份有限公司
产 地:美国
厂 商:KLA
价 值:200万
购置日期:2011-12-18
使用状态:
资源信息
主要技术指标
可测厚度400-1000um的硅片平整度
主要功能/应用范围
测量硅片平整度
服务内容
测量硅片平整度
服务的典型成果
无
对外开放共享规定
暂无
参考收费标准
100元/每片
联系信息
评价信息