主要技术指标

LED蓝宝石衬底全自动超快激光切割机 型号 LUD3120 激光参数 激光光源 皮秒激光器 激光波长 红外不可见光1064nm 加工性能 加工尺寸范围 130mm×130mm 重复定位精度 ±0.001mm 定位精度 ±0.003mm 切割速度 0-600mm/s 主要配置 运动平台 X-Y-Z-θ运动平台 定位系统 同轴CCD相机 自动化 自动化上下料系统 整机控制系统 工控机 辅助控制系统 高精度运动控制卡 外部辅助装置 负压吸附抽尘系统 使用环境条件 电源额定电压 380V 频率 50HZ 相数 3相 额定功率 5.5KW 环境温度 15-30℃ 环境湿度 <50% 整机尺寸 1470mm×1160mm×1800mm

主要功能/应用范围

1.全自动上下料，减少人工成本，提高生产效率； 2.配备进口超快激光器，采用华工科技知识产权的激光聚焦系统，光束质量稳定，切割效果好； 3.搭配光学大理石平台，高速高精度直线电机、负压吸附系统及专业切割控制软件，加工速度快，生产良率高； 4.同轴CCD辅助监视系统，具备同轴成像对位功能及同轴测距功能，操作界面友好，操作效率高；

服务内容

半导体制造行业单台面玻璃钝化二极管晶圆的切割划片

服务的典型成果

半导体制造行业单台面玻璃钝化二极管晶圆的切割划片

对外开放共享规定

在合法、合理、共赢以及不影响本单位自己工艺试验的前提下，充分透明最大限度的向外界开放，争取达到设备的最大利用率。

参考收费标准

视具体情况详谈！