主要技术指标

采用激光和白光两种光源，激光焦点信号采集采用16Bit光电倍增管。白光图像采集采用3CCD技术，光学相机拍摄分辨率不低于700万像素。Z轴内置线性标尺分辨率不低于0.5nm。综合放大倍率不低于25000倍，物镜：X10，X20（工作距离不低于3mm），X50（NA=0.95），X150（NA=0.95）。Z向显示分辨率不低于0.0005 um，重复精度（δ）小于等于0.012um。X/Y方向图像显示分辨率不低于0.001 um，重复精度（3δ）小于等于0.022um。

主要功能/应用范围

①备高度、宽度、R值、角度、粗糙度测量；②ISO25178表面性状；③球?面角度计算检测；④凹凸部分计算检测；⑤表面微粒自动统计分析；⑥可在3D图像中选任意位置取轮廓线进行分析；⑦具备自动寻找最大、最小位置点、测量自动捕捉边缘功能；⑧测量分析软件无限授权（可安装多台PC使用）。

服务内容

粗糙度测量、表面性状

服务的典型成果

粗糙度测量、表面性状、轮廓度测量

对外开放共享规定

需预约，需缴费

参考收费标准

500-800元/小时