仪器名称:高真空磁控溅射薄膜沉积系统
规格型号:TRP450F1300
分 类:其他仪器
应用领域:机械工程 材料科学 物理学 化学 冶金工程技术
所属单位:唐山学院
产 地:中国
厂 商:中国科学院沈阳科学仪器有限公司
价 值:32.68万
购置日期:2023-12-22
使用状态:
共享模式: 外部共享
主要技术指标
真空度3×10-6Pa
主要功能/应用范围
功能薄膜是一类在电、磁、光、热等方面有特殊性质的薄膜材料,常用于制造各种装备中具有独特功能的核心部件。高真空磁控溅射薄膜沉积系统可制备超导、磁性、半导体等功能薄膜。高质量的超导薄膜在量子计算机中具有重要应用价值。量子计算机在天气预报、制药研制、保密通讯及破译方面均有巨大应用。磁性薄膜材料广泛应用于机器人系统,制造计算机存储器,光通信中的磁光调制器、光隔离器和光环行器等;也用作磁记录薄膜介质和薄膜磁头,以及磁光记录盘等。半导体薄膜可用于制造晶体管、太阳能电池、金属-半导体-金属光电探测器和量子阱激光器等。
服务内容
制备薄膜
服务的典型成果
制备金属膜,化合物等
对外开放共享规定
样品制备设备对外服务周期较长
参考收费标准
每小时100元
仪器联系人: | 段秀芝 | 联系电话: | 13931550125 |
电子邮箱: | xiuzhiduan@tju.edu.cn | 传 真: |