最新公告：
单位
聚焦电子束微纳加工系统
仪器名称：聚焦电子束微纳加工系统
规格型号：NanoSEM450
分 类：透射电镜
应用领域：电子与通信技术
所属单位：河北工业大学
产 地：中国香港
厂 商：FEI香港有限公司
价 值：334.33万
购置日期：2016-03-30
使用状态：
共享模式： 外部共享
资源信息
主要技术指标
可以通过二次电子电子成像实现高精度表面形貌分析，1KV加速电压下的分辨率达到1.4nm
主要功能/应用范围
可以通过二次电子、背散射电子成像对微电子、光电子薄膜及微纳器件结构进行分析表征。
服务内容
暂无
服务的典型成果
暂无
对外开放共享规定
暂无
参考收费标准
具体请跟机主老师联系
联系信息
| 仪器联系人： | 王伟 | 联系电话： | 60435772 |
| 电子邮箱： | wangwei@hebut.edu.cn | 传 真： |
评价信息