主要技术指标

测量光谱范围：250-2100nm；测量范围：Psi=0°-360°，Delta=0°-360°，无死区。 测量准确度：直射测量空气（Psi=45°；Delta=0°），Ψ≤45°±0.02°，Δ≤0°±0.05°（1.5eV-2eV）;Ψ≤45°±0.02°，Δ≤0°±0.05°（2eV-5eV）; 测量重复性：SiO2薄膜厚度测量10次的标准偏差1δ优于±0.3?（样品SiO2/Si），633nm处折射率＜0.0002.

主要功能/应用范围

相位调制，旋转补偿器，自动相位延迟器，宽带补偿器；光斑（70°入射角）最下尺寸≤1nm×3nm；快速最短测量时间：≤10ms（单波长）；软件支持复合结构数据分析，建模，有效介质建模，各向异性材料建模，米勒矩阵建模。

服务内容

暂无

服务的典型成果

暂无

对外开放共享规定

暂无

参考收费标准

具体请跟机主老师联系