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8英寸晶圆表面缺陷检测系统

仪器名称:8英寸晶圆表面缺陷检测系统

规格型号:SIGMA 500

分  类:超声波测厚仪

应用领域:材料科学  

所属单位:河北工业大学

产  地:德国

厂  商:卡尔.蔡司公司

价  值:298.97万

购置日期:2017-01-23

使用状态:

共享模式: 内部共享

资源信息

主要技术指标

20nA电流;35KV电压;200mm实验台

主要功能/应用范围

可做最大直径为8英寸的晶圆表面的缺陷分析、形貌观察、成分分析等。

服务内容

提供送样测试服务

服务的典型成果

为校内师生科研及教学任务提供测试服务

对外开放共享规定

只接受送样预约,由机主完成测试

参考收费标准

根据样品复杂度决定

联系信息
仪器联系人: 王如 联系电话: 022-60438418
电子邮箱: hebutgzc@163.com 传  真:
评价信息