仪器名称:8英寸晶圆表面缺陷检测系统
规格型号:SIGMA 500
分 类:超声波测厚仪
应用领域:材料科学
所属单位:河北工业大学
产 地:德国
厂 商:卡尔.蔡司公司
价 值:298.97万
购置日期:2017-01-23
使用状态:
共享模式: 内部共享
主要技术指标
20nA电流;35KV电压;200mm实验台
主要功能/应用范围
可做最大直径为8英寸的晶圆表面的缺陷分析、形貌观察、成分分析等。
服务内容
提供送样测试服务
服务的典型成果
为校内师生科研及教学任务提供测试服务
对外开放共享规定
只接受送样预约,由机主完成测试
参考收费标准
根据样品复杂度决定
仪器联系人: | 王如 | 联系电话: | 022-60438418 |
电子邮箱: | hebutgzc@163.com | 传 真: |